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白光干涉

白光干涉厚度检测系统基于多束反射光相干原理，通过分析材料上下表面反射光形成的干涉条纹与调制频率，实现非接触、无损、纳米级厚度测量。系统包含光源、光纤、检测支架、光谱仪等组件，适用于晶圆膜层、光学膜、涂料膜、锂电隔膜等透明或半透明材料。检测厚度范围覆盖 1nm 至 70μm，精度达 1nm，入射角为0°，兼容大多数涂层材料及多层叠膜结构。系统测量速度快、稳定性高，广泛部署于高端膜材、光电材料与半导体制造中。

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