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光谱共焦

光谱共焦厚度测量系统利用色散光学技术建立波长与焦距的对应关系，通过解码反射光谱实现材料表面高度和厚度的超高精度测量。系统由光源、光纤、检测支架、光谱仪及共焦探头构成，适用于玻璃、镜头、晶圆、芯片、太阳能电池板等高精度结构。系统可输出位移与厚度双数据，适应流水线高速在线检测需求，特别适用于复杂纹理与多层结构的表面。

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